[tel-00138157] Microbolomètres supraconducteurs YBCO suspendus réalisés par micro-usinage du substrat de silicium

Nous avons démontré la faisabilité de bolomètres suspendus YBaCuO sensibles et relativement rapides par micro-usinage du substrat de silicium. Ce travail comprend une partie technologique décrivant trois techniques de fabrication de structures suspendues YBaCuO et une partie de caractérisation. Les films d'YBaCuO obtenus sur silicium avec une double couche tampon CeO2 / YSZ sont texturés dans la direction c et ne possèdent qu'une seule orientation dans le plan. Leur température critique mesurée à résistance nulle vaut 88 K, et leur densité de courant critique dépasse 106 A / cm2 à 77 K. La gravure ionique réactive (GIR) du substrat de silicium nous a permis de réaliser un grand nombre d'échantillons et de valider ainsi nos calculs par confrontation avec les mesures. La technique de fabrication utilisant un substrat SIMOX s'est révélée très peu dégradante pour l'YBaCuO et très prometteuse pour la détection. Enfin, nous avons défini un méandre constitué de 17 brins de largeur de piste 4 µm, et fabriqué par GIR. Les performances de ce détecteur de surface 100 * 100 µm2, mesurées à 85 K dans la gamme de longueur d'onde 3-5 µm, sont au niveau des meilleures publiées: Sensibilité (3-5 µm) = 11950 V / W Temps de réponse t = 564 µs NEP optique = 4,0 10-12 W Hz-1/2 Détectivité D* = 2,5 109 cm Hz-1/2 / W

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