[tel-01102461] Métrologie dimensionnelle de nanoparticules mesurées par AFM et par MEB

Les travaux présentés dans ce mémoire portent que les mesures de tailles de nanoparticules effectuées par Microscopie à Force Atomiques (AFM) et Microscopie Electronique à Balayage (MEB). Des méthodes de mesures de tailles de nanoparticules sphériques sont présentées pour les deux instruments. Une technique de dépôt mettant en oeuvre une tournette et adaptée à ces deux techniques d'imagerie est spécifiquement développée. Un bilan d'incertitude complet associé à la mesure de taille de nanoparticules par AFM est présenté et les principales sources d'incertitudes liées à la mesure par MEB sont évaluées. Un logiciel permettant la mesure de tailles de nanoparticules images par AFM et par MEB a été développé durant ces travaux de thèse et sont explicités dans ce mémoire. Ce logiciel permet le traitement semi-automatique des images de nanoparticules acquises par AFM et par MEB. Enfin, des comparaisons de mesures de taille de nanoparticules sphériques par AFM et par MEB sont effectuées et valident le principe dit de métrologie hybride qui permet la mesure en trois dimensions de nano-objets par combinaison des deux techniques instrumentales.

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